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要避免热处理产品与电加热元件接触
尤其足铜、铝、锌、锡、铅等与电加热元件接触，无论是细粉、熔液或蒸汽等，防止在电加热体表面侵蚀形成“麻坑”，截面变小，最后过热而烧断。
真空回火炉注意测温触点的定位捆绑方式
测试炉温均匀性时，应注意测温触点的定位捆绑方式，以及离加热元件的远近。
炉内经常(至少每月)用毛刷、扫帚或压缩空气、吸尘器等清洁炉膛和搁砖，要防止炉内氧化皮等杂质掉在电热元件上，发生短路，甚至烧坏搁砖。底板、坩埚、炉罐等耐热钢构件每使用一段时间，最好吊起敲击，清除其氧化皮。氧化铁皮等杂质如不及时清除，就会熔融与耐火砖发生反应，使炉丝熔化。
真空炉升温后，不能长时间开启炉门
当温度高于400℃时，不得急剧冷却。对于电热元件在温度高、冷热变化大情况下，容易引起氧化掉皮。对于钼加热炉，EI常使用维护中注意应冷却至200℃以下方可停送保护气。
保证引出棒与线夹子应接触良好
引出棒不能有发红现象，供电时线夹子的升温最高不超过60℃。注意由于升温停炉时的热胀冷缩以及蠕变伸长等，引出棒接线夹子的螺栓容易发生氧化松动，形成虚接短路，要定期检查拧紧。
真空炉处理钛合金时，不宜用氮气作为冷却气体，因为钛和氮在高温下反应，形成金黄色的氮化钛。
真空炉活动连接部分全部采用O型橡胶圈密封连接，此部分均通水冷却。
工件在真空状态下淬火，应使用真空淬火油，此油具有较低的饱和蒸气压。
真空炉的保养应在真空或充纯氮状态下，避免平时不用时吸气，吸潮。
国内真空炉的压升率应不大于1.33Pa/h，国外某些企业的标准为0.67Pa/h。
真空加热以辐射为主，工件在炉内应该保持间距。
升温过程中，工件及炉内材料会放气，使真空度下降。
真空回火炉
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